سیستم های میکروالکترومکانیکی یا (MEMS) به دلیل داشتن خصوصیات و قابلیت های فوق العاده و منحصر به فرد از نظر رنج عملکرد، دقت بسیار بالا، نویذپذیری بسیار کم ، قیمت پایین، امکان تولید انبوه و از همه مهم تر، قابلیت مجتمع سازی و سازگاری تکنولوژی ساخت با فرایندهای ساخت مدارات مجتمع جایگاه ویژه ای را در صنعت و تکنولوژی به خود اختصاص داده است.
متخصصین در زمینه ها، کاربردها و رشته های مختلف مانند فیزیک، شیمی، مکانیک و ازهمه موثرتر مهندسین ابزار دقیق را برآن می دارد تابه طراحی و ساخت سنسورهای جدید میکروالکترومکانیکی پرداخته و یا درصصد بهبود رنج اندازه گیری و یا افزایش دقت و حساسیت سنسورهای موجودبرآیند.در همین راستا و به دلیل نوظهور بودن این تکنولوژی در کشور عزیزمان ایران ونیاز مهندسین برق و مکانیک به آشنایی با تکنولوژی میکروالکترومکانیک و روش های مهم و موثر در تبدیلات مکانیکی به الکترونیکی کتاب حاضر تالیف گردید.
فهرست مطالب
پیشگفتار
فهرست
فصل اول: معرفی سیستم های میکروالکترومکانیکی
فصل دوم: مواد کاربردی و تکنولوژی ساخت سیستم های میکروالکترومکانیکی
فصل سوم: روش های تبدیل میکروالکترومکانیکی
فصل چهارم: سنسورهای فلومیکروالکترومکانیکی
فصل پنجم: شتاب سنج های میکروالکترومکانیکی
فصل ششم: سنسور دما و رطوبت میکروالکترومکانیکی
فصل هفتم: سنسورهای نیرو و گشتاور میکروالکترومکانیکی
فصل هشتم: سنسورهای فشار میکروالکترومکانیکی
مراجع
